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热门关键词: In-situ洗净 碳素纤维改质 薄膜上常温成膜 洗净/去除(灰化) 半导体衬底成膜
半导体衬底成膜方案
深沟槽衬底应用案例(纵横比1:15)
效果
在沟槽底部,从侧壁到底部可以基本形成同一SiO2膜厚
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