高纯臭氧如何参与OH自由基生成？

本方案采用了80 %wt以上高纯臭氧与水蒸气，在加热条件下生成OH自由基，并直接参与ALD氧化过程。

从工艺角度来看，高纯臭氧主要具有两个优势：

第一，更高的臭氧分压。

相比普通5%～15%臭氧，高纯臭氧能够提供更多活性氧，为后续反应创造更有利条件。

第二，更少的氧气稀释。

普通臭氧混合气中氧气占比较高，而高纯臭氧则显著降低了氧气比例，使反应体系更加集中于臭氧相关反应。

需要强调的是，OH自由基的生成机理受温度、水蒸气浓度、压力、停留时间等多种因素共同影响，公开资料尚未披露全部工艺细节，因此具体反应路径仍需更多研究和验证。