案例·新闻_纯臭氧发生器_高浓度臭氧气体发生器-北京同林科技有限公司

热门关键词： In-situ洗净碳素纤维改质薄膜上常温成膜洗净/去除(灰化) 半导体衬底成膜

您的位置： > 主页 > 案例·新闻

: 高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？

高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？目前，高纯臭氧主要应用于半导体高端工艺及相关研究领域，包括：高介电常数材料（High-k）例如：HfO₂ZrO₂La₂O₃这些材料...

详情 >>

: 高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？

高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？很多人认为，高纯臭氧只是把臭氧浓度提高而已。事实上，两者最大的区别并不仅是数字上的变化，而是整个反应体系发生了改变。普通臭氧发生器...

详情 >>

: 为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进ALD的新趋势？

为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进ALD的新趋势？近年来，随着半导体器件不断向更小制程、更高集成度发展，原子层沉积（ALD）技术的重要性日益凸显。无论...

详情 >>

: 高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别

高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别普通臭氧发生器通常输出的是臭氧与氧气的混合气体，臭氧体积分数一般在5%～15%左右。而明電舎采用的是液化分离技术制备的高纯臭...

详情 >>

: 为什么OH自由基值得关注？

为什么OH自由基值得关注？OH自由基被认为是自然界和工业氧化过程中活跃的氧化物种之一，具有极高的反应活性。对于ALD而言，OH自由基能够更快速地氧化金属前驱体残...

详情 >>

: OH自由基让ALD薄膜杂质降低约100倍，高纯臭氧迎来新的应用方向

日本明電舎发布Pure Ozone新技术：OH自由基让ALD薄膜杂质降低约100倍，高纯臭氧迎来新的应用方向2026年6月23日，日本明電舎（Meidensha...

详情 >>

: 超纯臭氧发生器作为MBE（分子束外延）氧化源应用实例

超纯臭氧发生器作为MBE（分子束外延）氧化源应用实例MBE（分子束外延）氧化源应用实例超纯臭氧发生器实现的功能和规范1.低杂质高纯度（ppb）（竞争对手：ppm...

详情 >>

首页上一页 1 2 下一页末页

网站首页

臭氧实验公众号

联系我们

明電舎 MEIDENSHA半导体设备制造商!

电话010-82461830
邮箱725576102@qq.com
地址北京市海淀区SOCO公社一层

电话

010-82461830
微信客服
返回顶部

Copyright © www.pureozone.cn 版权所有