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热门关键词: In-situ洗净 碳素纤维改质 薄膜上常温成膜 洗净/去除(灰化) 半导体衬底成膜
高密封性应用案例
效果
通过OER工艺常温生成OH活性基,没有热或物理损伤
不需要真空排气,大幅度缩短成膜时间
利用专用喷头均匀喷射气体,上游和下游之间没有分布差异
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