高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？

很多人认为，高纯臭氧只是把臭氧浓度提高而已。

事实上，两者最大的区别并不仅是数字上的变化，而是整个反应体系发生了改变。

普通臭氧发生器输出的是臭氧与氧气混合气体。

而Pure Ozone系统通过液化分离等工艺，可以得到80 %wt以上，甚至接近纯臭氧的臭氧气体，大幅降低氧气比例。

这种变化会带来几个重要特点：

更高的臭氧分压

在相同流量条件下，进入反应腔的臭氧分子数量显著增加。

对于需要快速氧化反应的ALD工艺来说，更高的臭氧分压意味着反应驱动力进一步提高。

更少的氧气稀释

普通臭氧实际上包含大量氧气。

氧气虽然本身稳定、安全，但并不是ALD反应所需要的活性氧化剂。

当臭氧浓度提高后，系统中无效氧气比例降低，能够提高反应效率，同时减少气体输送量。

更适合生成高活性氧化物种

此次明電舎公布的新技术正体现了这一特点。

官方采用80 %wt以上高纯臭氧，与水蒸气共同作用，在反应区域生成OH自由基。

这说明，高纯臭氧不仅能够直接参与氧化，还能够作为生成高活性氧化物种的重要来源，为新的ALD工艺路线