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热门关键词： In-situ洗净 碳素纤维改质 薄膜上常温成膜 洗净/去除(灰化) 半导体衬底成膜

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In-situ洗净方案

In-situ洗净方案

EUV光刻装置后工程（光刻处）的In-situ洗净应用例

In-situ洗净方案(图1)

 

效果

可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部（低浓度臭氧从未实现的显著特征）

在没有生成氧化物的同时去除污染（碳污染），保持光束反射率

100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O，不会对Mask,Mirror造成损伤

超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧，可以充分分解Out Gas

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