搜索

Meiden纯臭氧发生器

北京同林超纯臭氧设备服务商

超纯臭氧选购服务热线：010-82461830

热门关键词： In-situ洗净 碳素纤维改质 薄膜上常温成膜 洗净/去除(灰化) 半导体衬底成膜

您的位置： > 主页 > 应用与方案

In-situ洗净方案

In-situ洗净方案

EUV光刻装置后工程（光刻处）的In-situ洗净应用例

 

效果

可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部（低浓度臭氧从未实现的显著特征）

在没有生成氧化物的同时去除污染（碳污染），保持光束反射率

100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O，不会对Mask,Mirror造成损伤

超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧，可以充分分解Out Gas

热文推荐 / Hot product

为什么ALD越来越依赖高活性氧化剂？

为什么ALD越来越依赖高活性氧化剂？

为什么ALD越来越依赖高活性氧化剂？ALD是一种典型的表面自限性反应。每一个循环通常包括：金属前驱体吸附；惰性气体吹扫；氧化剂反应；再次吹扫。其中，氧化剂的任务...
高纯臭氧系统需要哪些关键设备？

高纯臭氧系统需要哪些关键设备？

高纯臭氧系统需要哪些关键设备？对于实验室而言，仅有高浓度臭氧发生器还远远不够。完整的高纯臭氧实验平台通常包括：高纯臭氧发生器要求浓度稳定、输出连续、波动小。高纯...
高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？

高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？

高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？目前，高纯臭氧主要应用于半导体高端工艺及相关研究领域，包括：高介电常数材料（High-k）例如：HfO₂ZrO₂La₂O₃这些材料...
高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？

高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？

高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？很多人认为，高纯臭氧只是把臭氧浓度提高而已。事实上，两者最大的区别并不仅是数字上的变化，而是整个反应体系发生了改变。普通臭氧发生器...
为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进AL

为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进AL

为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进ALD的新趋势？近年来，随着半导体器件不断向更小制程、更高集成度发展，原子层沉积（ALD）技术的重要性日益凸显。无论...
高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别

高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别

高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别普通臭氧发生器通常输出的是臭氧与氧气的混合气体，臭氧体积分数一般在5%～15%左右。而明電舎采用的是液化分离技术制备的高纯臭...
为什么OH自由基值得关注？

为什么OH自由基值得关注？

为什么OH自由基值得关注？OH自由基被认为是自然界和工业氧化过程中活跃的氧化物种之一，具有极高的反应活性。对于ALD而言，OH自由基能够更快速地氧化金属前驱体残...

解决方案

高品质金属氧化物薄膜成长方案

碳素纤维的改质方案

洗净/去除(灰化)方案

半导体衬底成膜方案

In-situ洗净方案

薄膜上常温成膜方案

推荐产品
纯臭氧水发生器（超高浓度/高纯度）400 mg/

纯臭氧水发生器（超高浓度/高纯度）400 mg/

高浓度超纯臭氧发生器(连续供给类型)

高浓度超纯臭氧发生器(连续供给类型)

全国服务热线

010-82461830
明電舎 MEIDENSHA CORPORATION

微信臭氧实验公众号

微信公众号联系我们

明電舎 MEIDENSHA半导体设备制造商!

  • 电话010-82461830
  • 邮箱725576102@qq.com
  • 地址北京市海淀区SOCO公社一层

Copyright © www.pureozone.cn 版权所有