Meiden纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。

此外，该单元是与日本国立先进工业科学技术研究所共同开发的。
 

参数

积蓄处

臭氧反应室数量：2

最大臭氧积蓄量*1; [cc*2;] ：32000/装置  16000/反应室 

液体臭氧浓度[％] ≓ 100 

供给处

连续供给能力[sccm]：100*9

最大供给能力[sccm] ：300

臭氧气体浓度[％] ： 90 

最大供给时间[分]*3;  ：100
 

国际安全标准SEMI-S2, UL, NFPA, CE ：符合

特征：

将臭氧生成装置产生的臭氧气体极度低温液化后，生成100%浓度臭氧

可以持续供给100%浓度臭氧

应用与解决方案

纳米压印中去除非光刻胶（使用附加气体处理方法）

• 完全去除附着在模板上的抗性物质

薄膜的表面改性（使用添加气体处理方法）

• 通过薄膜表面改性提高润湿性

安全对策

基于安全装置设计的考虑，保持高纯度・减压状态，使臭氧不产生危险反应。

安全设计

紧急时的防爆设计

停电，异常时通过安全系统控制温度和压力。

信赖性

停电时、先稀释臭氧浓度，然后将装置内残留臭氧紧急排出。

 异常发生时可以通过EMO（紧急停止）开关来手动停止装置。（为防止臭氧爆炸，冷冻机具有持续运行功能）

液化反应室收纳于真空断热的SUS容器中，万一臭氧发生爆炸也不会造成对外部机械损伤。

液态臭氧冷却装置具有足够的容积来容纳液态臭氧，减少由震动引起的急速气化爆炸风险。

标准认证

符合国际安全标准（SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等）

品质保证

 由第三方认证机关通过示踪气体实验认证具有防止气体泄露的安全性。

OER *工艺技术
通过将高浓度臭氧和乙烯混合，成功地生成了大量OH自由基。

装置构成图（连续供给类型)