高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别

普通臭氧发生器通常输出的是臭氧与氧气的混合气体，臭氧体积分数一般在5%～15%左右。而明電舎采用的是液化分离技术制备的高纯臭氧，可连续提供接近纯臭氧的高浓度臭氧气体，用于半导体制造等高端应用。

高纯臭氧具有以下优势：

较高的臭氧分压能够提高反应体系中的活性氧物种生成能力，也为OH自由基的生成创造了更有利的条件。不过，具体反应效率仍与温度、水蒸气浓度、停留时间等工艺参数密切相关，并非仅由臭氧浓度决定。

对国内科研和设备开发有哪些启示？

近年来，国内高校、科研院所及半导体设备企业在ALD工艺研究方面持续投入，高纯臭氧相关应用也逐渐受到关注。

此次明電舎公布的成果说明，高纯臭氧已经不仅仅是一种氧化剂，更可以作为生成高活性氧化物种的重要基础，为未来ALD工艺提供新的优化方向。

对于开展相关研究的实验室而言，除了臭氧发生器本身，还应关注整个臭氧系统的配置，包括：

高稳定性高浓度臭氧发生器；

耐臭氧输送管路及密封材料；

高精度在线臭氧浓度监测；

尾气分解与安全控制系统；

水蒸气供给及流量控制系统。

只有整套系统稳定运行，才能充分发挥高纯臭氧工艺的优势。