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Meiden超纯臭氧发生器可以持续供给100%浓度臭氧
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Meiden超纯臭氧发生器可以持续供给100%浓度臭氧
·利用纯臭氧作为氧气源可以形成高品质的金属氧化物薄膜。
· 利用纯臭氧作为氧气源的优越性得到国际认知。
· 東京大学川崎研究室提供
· 可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部
· 在没有生成氧化物的同时去除污染（碳污染），保持光束反射率
· 100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O，不会对Mask,Mirror造成损伤
· 超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧，可以充分分解Out Gas
· 可以对碳素纤维进行内部改质
· 长期亲水性（1个月以上）
· 无热或物理损伤
· 通过OER工艺常温生成OH活性基，没有热或物理损伤
· 不需要真空排气，大幅度缩短成膜时间
· 利用专用喷头均匀喷射气体，上游和下游之间没有分布差异
· 室温下高速度灰化
· 可以灰化各种半导体光刻胶
· 在高离子注入后灰化时不产生光刻胶爆裂
国际安全标准SEMI-S2、UL、CE·符合国际安全标准（SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等）
·由第三方认证机关通过示踪气体实验认证具有防止气体泄露的安全性。
自有技术明电舍独自研·通过混合高浓度臭氧和乙烯气体,成功生成高活性OH基。
·能够适当的控制臭氧和乙烯气体的压力比，从而增加OH基的生成量。
专业臭氧团队20年臭氧行业经验·从产品设计到调试，我们高技能的员工通过提供高质量，对社会负责的产品和服务，帮助客户解决各种问题并实现他们的梦想。
·服务人员中不乏20余年行业经验，快速获取客户故障反馈需求，减少沟通时间。
4S式服务机制一站式无忧体验·售前：技术人员深入了解客户需求，科学规划产品方案。
·售中：免费配送上门，提供产品操作培训，保证客户方掌握操作方法。
·售后：建立产品终身档案制，服务应急机制，终身培训指导，免费配置升级，上门维护。
我们心目中的“品质”，不仅意味着产品及服务的质量，还涵盖了支撑起明电品质的“人”与“技术”。凭借员工的诚挚之心和灵活的应对能力，与全球客户建立更加紧密的联系。
了解详情 >08-1926
高纯臭氧正在进入哪些先进工艺？目前，高纯臭氧主要应用于半导体高端工艺及相关研究领域，包括：高介电常数材料（High-k）例如：HfO₂ZrO₂La₂O₃这些材料.....
08-0526
为什么80 %wt以上高纯臭氧，正在成为先进ALD的新趋势？近年来，随着半导体器件不断向更小制程、更高集成度发展，原子层沉积（ALD）技术的重要性日益凸显。无论.....
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高纯臭氧发生器与普通臭氧发生器的区别普通臭氧发生器通常输出的是臭氧与氧气的混合气体，臭氧体积分数一般在5%～15%左右。而明電舎采用的是液化分离技术制备的高纯臭....
为什么OH自由基值得关注？OH自由基被认为是自然界和工业氧化过程中活跃的氧化物种之一，具有极高的反应活性。对于ALD而言，OH自由基能够更快速地氧化金属前驱体残....
超纯臭氧发生器作为MBE（分子束外延）氧化源应用实例MBE（分子束外延）氧化源应用实例超纯臭氧发生器实现的功能和规范1.低杂质高纯度（ppb）（竞争对手：ppm....
超纯臭氧生成技术原理高纯臭氧提供系统作为氧化物分子束外延系统和激光分子束外延系统的重要组成部分，用于为氧化物分子束外延系统和激光分子束外延系统提供高活性氧来源。....
07-1026
日本明電舎发布Pure Ozone新技术：OH自由基让ALD薄膜杂质降低约100倍，高纯臭氧迎来新的应用方向2026年6月23日，日本明電舎（Meidensha.....
05-1021
问候语 取締役社長 三井田 健 2017年我们庆祝公司成立120周年。 我们要感谢许多客户的信任和惠顾。 迈登集团以创造更美好的未来和让客户安心，快乐的企业理念为基础，建立了新的企.....
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温室气体减排目标（向上修订） 修订前（于2018年5月宣布） 校正后（2021年4月〜） 2030年目标 表现 2030年目标[SBT认证] 业务活动产生的排放 （范围1 + 2） 减少30％ （与2017年相比） 2019年....
明电社株式会社（社长：东京都品川区三井田贤代，下称明电社）正根据从2021年开始实施的新的中期经营计划，致力于向2050年实现碳中和的社会脱碳目标。将向上修订2030财年（中间阶....
08-0526
高纯臭氧意味着“浓度更高”吗？很多人认为，高纯臭氧只是把臭氧浓度提高而已。事实上，两者最大的区别并不仅是数字上的变化，而是整个反应体系发生了改变。普通臭氧发生器.....
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MEIDEN（明电舍）主要生产用于半导体设备使用的超纯臭氧发生器，安全设计、符合国际标准，经第三方安全检测无泄漏！
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高品质金属氧化物薄膜成长
In-situ洗净
碳素纤维的改质
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